证券日报网讯 1月27日，至纯科技在互动平台回答投资者提问时表示，公司于2021年开始持续进行在地化供应链建设，保证供应链稳定，基本实现自主可控，目前部件国产化率已达80%。公司系统集成气体业务在国内集成电路市场占比接近50%，系统集成化学品业务占比超过30%；湿法设备作为半导体制造关键环节，国产化率正逐步提升。目前公司湿法设备已覆盖28纳米全工艺节点，并在更先进制程节点取得突破，高温硫酸、FINETCH等高端工艺机台的交付与验证进度处于国内领先。