2025-11-26 10:50发布于山东IT之家官方账号----光刻机
首台 350nm 步进光刻机
据官方介绍，AST6200 光刻机是芯上微装基于多年光学系统设计、精密运动控制与半导体工艺理解积淀，倾力打造的高性能、高可靠性、全自主可控的步进式光刻设备，专为功率、射频、光电子及 Micro LED 等先进制造场景量身定制。
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