公告日期：2025-10-31

国泰海通证券股份有限公司

关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司

使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐机构”）作为上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“至纯科技”、“上市公司”或“公司”）的保荐机构，根据《公司法》、《证券法》、《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上市公司募集资金监管规则》、《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》和《上海证券交易所股票上市规则》等有关规定，对至纯科技使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的相关事项进行了审慎核查，具体情况及核查意见如下：

一、募集资金基本情况

经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）核发的《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司非公开发行股票的批复》（证监许可[2020]3020 号）批准，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）以非公开发行股票的方式向特定投资者发行 47,749,661 股股票（以下简称“本次发行”），发行价格为 28.79 元/股，募集资金总额 1,374,712,740.19 元，扣除各
项发行费用后的募集资金净额为 1,354,528,070.70 元。上述资金已于 2020 年 12
月 23 日到位，众华会计师事务所（特殊普通合伙）对本次发行募集资金到达公司账户情况进行了审验并出具了众会字(2020)第 8380 号《验资报告》。

二、募集资金投资项目的基本情况

截至 2025 年 9 月 30 日，公司 2020 年非公开发行股份募集资金投资项目情
况如下：

单位：万元

序号 项目名称 是否已变更 募集资金承 变更后拟使用 募集资金累计实
项目 诺投资金额 募集资金总额 际投入金额

1 半导体湿法清洗 否 25,500.00 19,859.84 19,859.84

设备扩产项目

半导体晶圆再生 38,471.27 2,293.21 2,293.21

二期项目

2 单片湿法工艺模 是

组、核心零部件研 - 36,202.88 8,000.27

发及产业化项目

光电子材料及器

3 件制造基地建设 否 31,000.00 31,000.00 28,080.88

项目

4 补充流动资金或 - 40,600.00 40,600.00 40,461.01

偿还债务

5 剩余募集资金永 - 不适用 不适用 8,846.65[注]

久补充流动资金

合计 - 135,571.27 129,955.93 107,541.86

注：上表中“半导体湿法清洗设备扩产项目”和“光电子材料及器件制造基地建设项目”已结项并将节余募集资金永久补充流动资金。

2021 年 1 月 13 日，经公司第三届董事会第四十二次会议审议通过，公司分
别将募集资金31,000万元增资至光电子材料及器件制造基地建设项目实施主体；将募集资金 25,500 万元增资至半导体湿法清洗设备扩产项目实施主体。

公司于 2023 年 12 月 7 日召开第四届董事会第四十二次会议、第四届监事会
第三十八次会议，于 2023 年 12 月 25 日召开 2023 年第三次临时股东大会审议通
过《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的议案》，公司结合 2020 年非公开发行股份募集资金投资项目的进度情况，决定将“半导体湿法清洗设备扩产项目”结项，节余募集资金永久补流，并将募投项目“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”，变更前后的募集资金拟投资项目如下：

单位：万元

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