公告日期：2025-10-31

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2024-106
上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于
使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

重要内容提示：

公司拟使用总额不超过 8,000.00 万元的部分闲置募集资金暂时补充流动
资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过 12 个月。

2025 年 10 月 30 日公司召开第五届董事会第十五次会议及第五届监事会第
十三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将闲置募集资金中不超过人民币 8,000.00 万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过 12 个月，现将相关事项公告如下：

一、募集资金基本情况

经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）核发的《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司非公开发行股票的批复 》（证监许可[2020]3020 号）批准，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）以非公开发行股票的方式向特定投资者发行 47,749,661 股股票（以下简称“本次发行”），发行价格为 28.79 元/股，募集资金总额 1,374,712,740.19 元，扣除各项
发行费用后的募集资金净额为 1,354,528,070.70 元。上述资金已于 2020 年 12 月
23 日到位，众华会计师事务所（特殊普通合伙）对本次发行募集资金到达公司账户情况进行了审验并出具了众会字(2020)第 8380 号《验资报告》。

二、募集资金投资项目的基本情况

截至 2025 年 9 月 30 日，公司 2020 年非公开发行股份募集资金投资项目情
况如下：

单位：万元

是否已变 募集资金承 变更后拟使用 募集资金累
序号 项目名称 更项目 诺投资金额 募集资金总额 计实际投入
金额

1 半导体湿法清洗设备 否 25,500.00 19,859.84 19,859.84
扩产项目

半导体晶圆再生二期 38,471.27 2,293.21 2,293.21
项目

2 单片湿法工艺模组、 是

核心零部件研发及产 - 36,202.88 8,000.27
业化项目

3 光电子材料及器件制 否 31,000.00 31,000.00 28,080.88
造基地建设项目

4 补充流动资金或偿还 - 40,600.00 40,600.00 40,461.01
债务

5 剩余募集资金永久补 - 不适用 不适用 8,846.65[注]
充流动资金

合计 - 135,571.27 129,955.93 107,541.86

注：上表中“半导体湿法清洗设备扩产项目”和“光电子材料及器件制造基地建设项目”已结项并将节余募集资金永久补充流动资金。

2021 年 1 月 13 日，经公司第三届董事会第四十二次会议审议通过，公司分
别将募集资金31,000万元增资至光电子材料及器件制造基地建设项目实施主体；将募集资金 25,500 万元增资至半导体湿法清洗设备扩产项目实施主体。

公司于 2023 年 12 月 7 日召开第四届董事会第四十二次会议、第四届监事会
第三十八次会议，于 2023 年 12 月 25 日召开 2023 年第三次临时股东大会审议通
过《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的议案》，公司结合 2020 年非公开发行股份募集资金投资项目的进度情况，决定将“半导体湿法清洗设备扩产项……
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