公告日期：2025-04-29

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2025-043
上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于
2024 年度“提质增效重回报”行动方案评估报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

为贯彻《国务院关于加强监管防范风险推动资本市场高质量发展的若干意见》（国发〔2024〕10 号），落实中国证监会《上市公司监管指引第 10 号——市值管理》要求，积极响应上海证券交易所《关于开展沪市公司“提质增效重回报”专项行动的倡议》，推动公司高质量发展，保护投资者尤其是中小投资者合法权益，
上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）于 2024 年 7 月 18 日在
上海证券交易所网站披露了 2024 年度“提质增效重回报”行动方案（以下简称“行动方案”）。

自行动方案发布以来，公司积极开展和落实相关工作。现将行动方案的实施进展及评估情况报告如下：

一、聚焦经营主业，持续提升核心竞争力

2024 年，公司业务目前 80%在半导体行业，从行业发展周期及战略角度出发，在下游客户的建设投产期和运营量产期进行产品和业务布局。在建设投产期，为客户提供制程设备、高纯工艺设备及系统。在稳定运营期，公司为客户提供电子材料、零部件及专业服务。公司的核心业务紧紧围绕为晶圆厂提供从前期建设到稳定运营阶段全生命周期的产品和服务。而公司这些核心业务的布局，围绕微污染控制技术、复杂工艺控制技术、超高纯度流体控制技术等，通过数年完成了覆盖核心用户全生命周期的产品和服务组合。该组合有助于公司在半导体产业不同周期阶段，都可以有较平稳的营收和发展。

2024 年公司新增订单总额为 55.77 亿元，其中 5 年以上长期订单总额为 1.17
亿元。在除去大宗气站、TGM、TCM 等电子材料及专项服务的长交期订单的影
响后，2024 年新签订单与 2023 年相比实现了 17.88%的增长。2024 年新增订单中
来自集成电路行业的订单额占比达 84.55%，其中服务于 12 英寸集成电路客户占
比达 88.46%，且主要为产业的一线用户，包括中芯国际、华虹公司、上海华力、长鑫科技、长江存储、北电集成、燕东微、士兰微、润鹏半导体、H 系等。

报告期内，公司实现收入 36.05 亿元，较去年同期增长 14.40%，息税折旧及
摊销前利润（EBITDA）3.86 亿元。公司收入中泛半导体占比 95.41%，集成电路占总收入的比重为 85.98%，集成电路中用户为 12 寸晶圆厂的占比 83.77%。报告期内公司的经营性现金流得到改善。近年现金流为负主要系叠加了研发高投入、长交期规模备货、在地化供应链建设、业务十倍级别扩大、不同用户不同工艺验机等现金流高流出。随着公司产品逐渐通过验证并形成批量销售、持续的在地化供应链建设取得成效，最大的平台级别的研发高投入趋缓，电子材料类现金流业务占比提升，未来公司经营性现金流将持续得到改善。

二、加大研发投入，强化技术储备优势

公司积累了深厚的技术储备，始终沿着国内先进制造业的发展方向，持续高水平的研发投入，追踪最新的技术趋势和客户需求进行产品开发和优化。

系统集成及支持设备方面，公司已成功完成了多项高纯工艺系统核心设备及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购，公司工艺水平已能够实现 ppb（十亿分之一）级的不纯物控制，获得了客户的广泛认可。公司在高纯工艺系统领域已经形成从研发、设计、制造到完整供应链的较强竞争优势。

制程设备方面，公司产品腔体、设备平台设计与工艺技术都和国际一线大厂路线一致，采用先进二流体产生的纳米级水颗粒技术，能高效去除微粒子的同时还可以避免兆声波的高成本。公司 12 英寸单片湿法清洗设备和槽式湿法设备将有效代表本土品牌参与到中国大陆高端清洗设备市场的竞争，公司高阶湿法设备多工艺已通过验证并交付，是国内能提供到 28 纳米制程节点全部湿法工艺的本土供应商，在更先进节点也取得部分工艺订单。

电子材料和零部件方面，公司为国内 28 纳米工艺节点的集成电路制造厂商提供配套，投资建设了半导体级的大宗气体工厂，能够为用户提供至少 15 年的高纯大宗气体供应，目前公司已经建成两座国产化的 12 英寸晶圆大宗气体供应工厂，并且为客户提供服务。

截至报告期末，集团累计申请专利 845 件（其中发明专利 350 件），已授权专
利 577 件（其中发明专利 182 件），软件著作权 185 件，注册商标 152 件。公司技
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