截至1月21日收盘，光刻机概念上涨2.76%，位居概念板块涨幅第10，板块内，39股上涨，百傲化学、沃格光电等涨停，芯碁微装、茂莱光学、波长光电等涨幅居前，分别上涨16.26%、8.69%、8.10%。跌幅居前的有江丰电子、苏大维格、珂玛科技等，分别下跌3.02%、1.32%、0.94%。

　　今日涨跌幅居前的概念板块

　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入10.75亿元，其中，31股获主力资金净流入，7股主力资金净流入超亿元，净流入资金居首的是百傲化学，今日主力资金净流入2.32亿元，净流入资金居前的还有晶方科技、赛微电子、大族激光等，主力资金分别净流入1.71亿元、1.53亿元、1.44亿元。

　　资金流入比率方面，沃格光电、百傲化学、炬光科技等流入比率居前，主力资金净流入率分别为19.57%、16.33%、9.33%。（数据宝）

　　光刻机概念资金流入榜