碳化硅设备大突破！记者2月4日从中电科电子装备集团有限公司（以下简称电科装备）获
碳化硅设备大突破！记者2月4日从中电科电子装备集团有限公司（以下简称电科装备）获悉，近日，由电科装备下属北京中电科公司自主研制的国内首台套12英寸碳化硅晶锭减薄设备、衬底减薄设备成功发货，顺利交付行业龙头企业，标志着国产设备在大尺寸碳化硅加工领域实现新突破，为大尺寸衬底产能升级提供重要装备保障。天岳大涨，你确。。。
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