请问贵公司三氟化氮纯化技术在光刻气体方面有哪些应用?贵公司特种气体具体有哪些产品?在光刻胶或者光刻机方面有哪些应用?下一步昊华科技在这方面会有进一步研究与布局吗?
昊华科技:
尊敬的投资者您好,感谢您对公司的关心和支持!公司所属昊华气体以延续50余年的技术积累和创新成果专注于配套电子信息产业,是国内特种气体行业内的技术领先企业,拥有国家重要的特种气体研究生产基地,现有电子特种气体、电力绝缘气体等数十余种产品,主要产品有三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨、六氟丙烷、硒化氢、硫化氢、溴化氢等,总产能达万吨级,部分产品国内市场占有率高达60%,产品主要应用于集成电路、平板显示和太阳能光伏等制造领域。目前公司正在研制光刻用电子混配气产品。
尊敬的投资者您好,感谢您对公司的关心和支持!公司所属昊华气体以延续50余年的技术积累和创新成果专注于配套电子信息产业,是国内特种气体行业内的技术领先企业,拥有国家重要的特种气体研究生产基地,现有电子特种气体、电力绝缘气体等数十余种产品,主要产品有三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨、六氟丙烷、硒化氢、硫化氢、溴化氢等,总产能达万吨级,部分产品国内市场占有率高达60%,产品主要应用于集成电路、平板显示和太阳能光伏等制造领域。目前公司正在研制光刻用电子混配气产品。
(来自 上证e互动)
答复时间 2025-09-22 17:49:00
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