新莱新材的真空系统组件，如真空室、泵、阀、法兰等，已批量交付给荷兰ASML等企业。其半导体真空系统和气体系统可以服务于相关的泛半导体设备供应商和终端制造商，公司真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中。新莱新材通过提供这些关键零部件，为阿斯麦光刻机的正常运行和性能提升提供了支持。