ASML研究人员表示，已找到一种方法来增强关键芯片制造设备光源的功率，到本十年末可使芯片产量提高最多
ASML研究人员表示，已找到一种方法来增强关键芯片制造设备光源的功率，到本十年末可使芯片产量提高最多50%。
负责EUV光源技术的首席技术专家Michael Purvis在加州工厂表示，“这这套系统能在完全符合客户现场所有要求的前提下稳定输出1000瓦功率（目前为600瓦）。”
更高的光源功率意味着单位时间内可以生产更多芯片，从而摊薄单颗芯片成本。
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