1. 光源（最难）

- ASML用LPP激光等离子体：200kW级激光轰击液态锡，产生13.5nm光，全球独一份。
- 中国：原型机光源功率、稳定性、寿命远不达标，还在实验室阶段。

2. 光学系统（极精密）

- EUV是全反射式，需要10+层钼/硅多层膜反射镜，表面平整度要求原子级（差0.1nm就废）。
- 中国：反射镜精度、镀膜、污染控制全是瓶颈。

3. 整机系统+产业链

- EUV是超复杂系统工程：真空、温控、双工件台、检测、软件、材料（EUV光刻胶几乎全进口） 。

股票、基金、债券、Reits助力EUV