截至2026年1月26日10:45，半导体设备ETF盘中换手4.63%，成交2.11亿元。

截至1月23日，半导体设备ETF最新规模达47.06亿元，最新份额达20.71亿份，均创成立以来新高。

从资金净流入方面来看，半导体设备ETF近19天获得连续资金净流入，最高单日获得6.21亿元净流入，合计“吸金”27.15亿元。

机构数据指出，从国产替代来看，国内半导体设备国产化率已从2025年的25%提升至35%，刻蚀机、薄膜沉积设备等核心设备替代率突破40%，12英寸硅片、ArF光刻胶等材料逐步实现批量供货，沪硅产业300mm硅片存储芯片用抛光片出货占比达60%。叠加政策支持与地缘政治带来的替代窗口期，国产半导体企业市占率提升空间巨大。

东方证券认为，当前AI推理等需求拉动AI算力需求持续攀升，相关硬件的供需失衡情况正由点及面。在半导体上游代工及封测领域，代工方面，受AI相关功率需求增长与大厂减产推动，晶圆厂正推动调涨部分成熟制程代工价格；封测方面，AI算力强劲需求与原材料成本压力共振下，部分封测厂近期陆续启动封测价格涨价。存储方面，AI持续推动存储需求，TrendForce预计存储器产业2026年产值达5,516亿美元，yoy+134%；DRAM与NANDFlash合约价涨势有望延续至2027年。CPU方面，AI智能体对通用计算能力的需求正在加速增长，加上通用服务器进入更新周期，驱动服务器CPU价格上涨。

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