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发表于 2026-01-08 07:52:10
发布于 陕西
一、已量产(电子级为主)
1. 三孚股份(603938)$三孚股份(SH603938)$:电子级DCS产能500吨/年(含扩产),纯度6N,通过台积电、长江存储认证,批量供货存储与逻辑芯片领域。
2. 雅克科技(002409)$雅克科技(SZ002409)$:电子级DCS产能约300-500吨/年,纯度6N+,客户含中芯国际、华虹、SK海力士等。
3. 合盛硅业(603260):$合盛硅业(SH603260)$工业级为主,产能12.5万吨/年,含部分电子级,规模领先。
4. 新安股份(600596):电子级为主,约2万吨/年,纯度达ppb级。
二、试产/中试阶段
1. 和远气体(002971):宜昌产业园DCS试生产,计划量产。
2. 金宏气体(688106):电子级DCS试生产,产能约200吨/年。
3. 华特气体(688268):布局电子级DCS,客户覆盖晶圆厂与封测企业。
4. 兴发集团(600141):依托磷硅产业链,DCS处于研发与中试阶段。
三、规划/在建
1. 华塑股份(600935):新建电子级DCS装置,2025年底试车,产能500吨/年。
2. 凯美特气(002549):宜昌产业园规划DCS等硅基特气,预计2026年试产。
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