公告日期：2025-10-30
证券代码：688012 证券简称：中微公司
中微半导体设备（上海）股份有限公司
2025 年第三季度报告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
重要内容提示：
公司董事会及董事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。
公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人（会计主管人员）保证季度报告中财务信息的真实、准确、完整。
第三季度财务报表是否经审计
□是 √否
公司 2025 年前三季度（1-9 月）营业收入为 80.63 亿元，同比增长约 46.40%。其中刻蚀设备
收入 61.01 亿元，同比增长约 38.26%；LPCVD 和 ALD 等薄膜设备收入 4.03 亿元，同比增
长约 1332.69%。
2025 年前三季度（1-9 月）归属于上市公司股东的净利润为 12.11 亿元，较去年同期增长约
32.66%。
根据市场需求，公司显著加大研发力度。2025 年前三季度公司研发支出 25.23 亿元，较去年
同期增长约 63.44%，研发支出占公司营业收入比例约为 31.29%。
公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻
辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件的超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产。其中 CCP
方面，公司用于关键刻蚀工艺的单反应台介质刻蚀产品保持高速增长，60 比 1 超高深宽比介
质刻蚀设备成为国内标配设备，量产指标稳步提升，下一代 90 比 1 超高深宽比介质刻蚀设备
即将进入市场；ICP 方面，适用于下一代逻辑和存储客户用 ICP 刻蚀设备和化学气相刻蚀设
备开发取得了良好进展。加工的精度和重复性已达到单原子水平。公司为先进存储器件和逻
辑器件开发的 LPCVD、ALD 等多款薄膜设备已经顺利进入市场，并且设备性能完全达到国
际领先水平，薄膜设备的覆盖率不断增加。公司硅和锗硅外延 EPI 设备已顺利运付客户端进
行量产验证，并且获得客户高度认可。在泛半导体设备领域，公司正在开发更多化合物半导
体外延设备，已陆续付运至客户端开展生产验证。
审计师发表非标意见的事项
□适用 √不适用
一、主要财务数据
（一） 主要会计数据和财务指标
单位：元 币种：人民币
本报告期比 年初至报告期
项目 本报告期 上年同期增 年初至报告期末 末比上年同期
减变动幅度 增减变动幅度
(%) (%)
营业收入 3,101,963,845.38 50.62 8,062,565,115.42 46.40
利润总额 509,457,874.86 22.73 1,227,224,383.22 29.65
归属于上市公司股东的 505,275,864.47 27.50 1,211,192,400.82 32.66
净利润
归属于上市公司股东的
扣除非经常性损益的净 348,036,426.83 5.46 886,804,273.29 9.05
利润
经营活动产生的现金流 1,095,412,692.01 不适用 1,298,309,239.31 385.23
量净额
基本每股收益（元/股） 0.81 26.56 1.94 31.08
稀释每股收益（元/股） ……
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