上证报中国证券网讯（记者李兴彩）5月16日，万业企业旗下凯世通自研低能大束流离子注入机12英寸晶圆产品片过货量突破500万片庆典活动在上海浦东新区圆满举行。经过五年艰苦卓绝的攻坚，凯世通实现了低能大束流离子注入机从样机研发、产线验证再到规模量产的跨越式发展，铸就了本土高端离子注入机产业化里程碑，支撑10余家国内主流12英寸集成电路产线安全量产，覆盖先进逻辑、先进存储、CIS图像传感器以及功率芯片四大核心领域。

　　离子注入机是芯片制造三大关键装备之一，开发难度仅次于光刻机。其中，低能大束流离子注入机的市场规模最大、产业化难度极高，一直以来被国际半导体设备巨头垄断。自2020年向国内头部12英寸产线交付首台设备以来，凯世通坚持自主研发、原创设计，不断取得突破性进展完成技术跨越，实现关键部件本土化，攻克电性能关键工艺及28纳米工艺全覆盖，取得先进制程产业化突破；以“每月等效2个月”的研发效率，跑出了凯世通速度，不断刷新低能大束流离子注入机产线安全量产数据新高度。

　　活动现场，客户代表向凯世通授予“凯世通速度”书法作品，激励凯世通与客户携手并进，在现有突破基础上，加快达成更大规模的量产，做好新一代产品开发，推出更多引领本土离子注入机发展的新产品。

　　先导科技集团董事长、万业企业董事长兼总裁、凯世通董事长朱世会表示，在当前国际环境下，过货量突破500万片极具战略价值，体现了凯世通持续服务客户安全量产的能力。500万片的里程碑凝聚了凯世通团队的坚守与拼搏，离不开客户、有关部门、供应商、股东等各方长期的指导与关怀。凯世通将满怀感恩之情，继续秉持“科技报国”初心，紧密围绕客户需求，聚焦“硬卡替”环节，加快离子注入机技术攻坚，不断满足国内集成电路客户量产需求。先导科技集团基于全产业链优势，从材料、零部件及维保、量测、终端应用等多维度正在加快赋能凯世通发展，助力凯世通进一步做大做强，服务国内集成电路产业高质量快速发展。

　　凯世通总经理陈克禄表示，过货量突破500万片大关这一里程碑体现了将“不可能变为可能”的凯世通速度，既是对凯世通研发能力和机台产品力的实证，更是公司系统性能力再上新台阶的集中体现。凯世通五年来在技术研发、现场服务、生产能力、供应链体系、质量管控等全方位能力体系建设上取得显著进步，让本土离子注入机从图纸走向产线，从“可用”迈向“好用”。

　　凯世通副总经理、首席技术官夏世伟表示，凯世通团队将继续以全身心的投入，与客户并肩战斗，以核心科技硬实力筑牢中国集成电路产业发展之基。