3月5日，半导体设备ETF（561980）大幅高开2.44%、截至发稿涨近3%！权重股拓荆科技大幅拉升超6%，中微公司、长川科技、华海清科、南大光电涨超3%；成份股中晶科技涨超7%，富创精密、联动科技、晶升股份、艾森股份等多股拉升。

　　资金面数据显示，半导体设备ETF（561980）最近5个交易日获资金累计净申购共1.37亿元，最近基金规模34亿元。

　　消息面上，受AI芯片、存储芯片、逻辑处理器等需求驱动，亚洲多家半导体龙头企业大幅提高2026年投资规模。

　　Trend Force数据显示，亚洲多家主要芯片厂商今年资本支出预计将超过1360亿美元（约合 9404.47亿元人民币），比2025年增长约25%。其中，台积电、三星电子和 SK 海力士是扩产的核心力量；国产厂商中芯国际也保持高水平投资，资本支出规模几乎与全年营收相当，重点用于本土产能建设。

　　受此拉动，设备与先进封装产业链有望迎订单爆发。

　　东吴证券指出，AI算力需求爆发驱动先进逻辑与存储芯片进入新一轮扩产周期。全球半导体设备市场规模持续创新高，中国大陆作为全球最大设备需求市场，连续四年蝉联榜首。在外部制裁强化、内部政策支持的背景下，半导体设备国产替代进入加速阶段，设备商国产化迎来新机遇。

　　据悉，半导体设备ETF（561980）跟踪中证半导，前十大重仓中微公司、北方华创、北方华创、中芯国际、海光信息、寒武纪、沪硅产业等半导体设备、材料和集成电路设计、制造业的龙头，100%覆盖四大核心产业链，前十大集中度高超75%。

　　数据显示，截至3月4日，该指数自2020年、2025年至今分别上涨261%、77%，在科创芯片、半导体材料设备等同类指数中均位列第一，高弹性特征显著，或在新一轮半导体上行周期中更具反弹锐度。