截至2026年3月4日 14:09，科创半导体ETF（588170）下跌1.22%，半导体设备ETF华夏（562590）下跌1.18%。

　　热门个股方面，有研硅领涨5.37%，耐科装备上涨3.88%，金宏气体上涨2.77%；欧莱新材领跌4.55%，京仪装备下跌3.95%，芯源微下跌3.31%。

　　流动性方面，科创半导体ETF盘中换手7.64%，成交6.60亿元；半导体设备ETF华夏盘中换手4.34%，成交1.13亿元。

　　规模方面，科创半导体ETF近1周规模增长1.76亿元，实现显著增长，新增规模领先同类；半导体设备ETF华夏最新规模达26.03亿元。

　　资金流入方面，科创半导体ETF近4天获得连续资金净流入，最高单日获得4.69亿元净流入，合计“吸金”9.17亿元，日均净流入达2.29亿元。

　　相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

　　半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。