截至2026年3月2日 13:48，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)下跌1.80%。成分股方面涨跌互现，拓荆科技领涨4.51%，晶升股份上涨3.09%，兴福电子上涨2.08%；中科飞测领跌7.00%，有研硅下跌6.12%，神工股份下跌5.23%。科创半导体ETF(588170)下跌2.04%，最新报价1.83元。拉长时间看，截至2026年2月27日，科创半导体ETF近1周累计上涨4.55%。

　　流动性方面，科创半导体ETF盘中换手7.42%，成交6.64亿元。拉长时间看，截至2月27日，科创半导体ETF近1周日均成交11.12亿元。

　　规模方面，科创半导体ETF最新规模达90.53亿元，创成立以来新高。

　　资金流入方面，科创半导体ETF最新资金净流入4.69亿元。拉长时间看，近4个交易日内有3日资金净流入，合计“吸金”5.65亿元，日均净流入达1.41亿元。（数据来源：Wind）

　　跟踪精度方面，截至2026年2月27日，科创半导体ETF近1月跟踪误差为0.007%，在可比基金中跟踪精度最高。

　　相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

　　半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。