截至2026年2月24日 14:09，中证半导体材料设备主题指数(931743)上涨0.62%，成分股天岳先进上涨3.58%，南大光电上涨3.47%，雅克科技上涨3.02%，上海新阳上涨2.81%，安集科技上涨2.79%。半导体设备ETF华夏(562590)上涨0.57%， 冲击3连涨。最新价报1.94元。拉长时间看，截至2026年2月13日，半导体设备ETF华夏近2周累计上涨0.36%。

　　流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手5.95%，成交1.65亿元。拉长时间看，截至2月13日，半导体设备ETF华夏近1月日均成交2.03亿元。

　　规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达27.73亿元。（数据来源：Wind）

　　跟踪精度方面，截至2026年2月13日，半导体设备ETF华夏近1月跟踪误差为0.011%，在可比基金中跟踪精度最高。

　　半导体设备ETF华夏紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。