中国证监会网站披露，北京华卓精科科技股份有限公司（简称“华卓精科”）于2月12日在北京证监局办理辅导备案登记，拟首次公开发行股票并上市，辅导券商为招商证券。

　　这已经是华卓精科二度冲刺IPO。公司曾因“光刻机双工件台”业务引发市场广泛关注，被称为“光刻机概念第一股”。

　　华卓精科在辅导备案中披露，公司曾于2020年6月申报科创板IPO并获受理，于2021年9月通过上市委审议。后基于整体市场环境及自身资本运作发展规划，公司于2024年6月主动撤回IPO申请。

　　二度冲刺IPO

　　辅导备案显示，华卓精科成立于2012年5月，注册资本2.75亿元，法定代表人孙国华。股东方面，朱煜为公司控股股东、实际控制人，直接持有公司总股数的37.81%，通过直接持股、间接持股和一致行动协议控制公司51.89%的表决权。

　　华卓精科主营是以超精密测控技术为基础，研究、开发以及生产超精密测控设备部件、超精密测控设备整机并提供相关技术开发服务。

　　华卓精科曾于2020年6月24日申报科创板IPO获受理，并于2021年9月17日获上市委会议通过。

　　彼时，华卓精科拟发行8000万股，募集资金7.35亿元，全部投入半导体装备关键零部件研发制造项目等项目。

　　因公司和保荐机构东兴证券分别向上交所提交了撤回申请文件，2024年6月26日，上交所披露关于终止对北京华卓精科科技股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市审核的决定。

　　折戟“光刻机双工件台”业务

　　华卓精科被市场熟稔，源于其光刻机双工件台业务。

　　光刻机工件台是光刻机的三大核心部件之一。华卓精科于2020年6月24日在招股书（申报稿）中披露，其是国内首家自主研发、实现光刻机双工件台商业化的公司，并成为国产光刻机公司上海微电子的核心子系统供应商，在国内无其他可比竞争对手。

　　但公司可谓是“成也光刻机概念，败也光刻机概念”。

　　2021年7月29日，科创板上市委2021年第51次审议会议召开，对华卓精科“暂缓审议”。

　　在现场问询中，上市委要求公司说明光刻机双工件台的产业化前景、技术研发是否依赖清华大学等事项；并进一步说明在光刻机双工件台尚未实现产业化的情况下，公司主要业务是否符合科创板定位和发行上市条件。之后，华卓精科在招股书（上会稿）中披露，公司的纳米精度运动及测控系统相关技术开发业务客户十分单一，目前只有上海微电子一家，而且国内也只有上海微电子有该类采购需求。

　　华卓精科是一家与清华大学有着千丝万缕联系的半导体设备公司，公司的控股股东、实际控制人朱煜是清华大学教授。朱煜同时担任科技部重点领域创新团队负责人及国家02科技重大专项（即“02专项”）技术副总师。

　　此前，华卓精科曾披露，除了光刻机双工件台外，公司的精密运动系统产品还包括晶圆级键合设备、激光退火设备、12英寸PVD氮化铝静电卡盘等。