截至2026年2月6日 13:56，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)上涨0.38%，成分股欧莱新材上涨15.35%，耐科装备上涨5.69%，新益昌上涨1.96%，中芯国际上涨1.92%，中科飞测上涨1.29%。科创半导体ETF(588170)上涨0.40%，最新价报1.75元。拉长时间看，截至2026年2月5日，科创半导体ETF近1月累计上涨10.43%。

　　流动性方面，科创半导体ETF盘中换手7.81%，成交6.20亿元。拉长时间看，截至2月5日，科创半导体ETF近1月日均成交11.09亿元，居可比基金第一。

　　规模方面，科创半导体ETF近1月规模增长40.51亿元，实现显著增长，新增规模位居可比基金1/3。（数据来源：Wind）

　　份额方面，科创半导体ETF近2周份额增长1.28亿份，实现显著增长，新增份额位居可比基金1/3。（数据来源：Wind）

　　资金流入方面，科创半导体ETF最新资金净流出3098.24万元。拉长时间看，近10个交易日内有6日资金净流入，合计“吸金”5.81亿元，日均净流入达5807.48万元。（数据来源：Wind）

　　跟踪精度方面，截至2026年2月5日，科创半导体ETF今年以来跟踪误差为0.007%，在可比基金中跟踪精度最高。

　　科创半导体ETF紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

　　数据显示，截至2026年1月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科、中微公司、拓荆科技、中科飞测、沪硅产业、芯源微、安集科技、华峰测控、天岳先进、盛美上海，前十大权重股合计占比73.89%。

　　科创半导体ETF(588170)，场外联接(华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接A：024417；华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接C：024418)。