截至2026年2月3日 14:23，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨3.26%，成分股欧莱新材上涨14.82%，天岳先进上涨7.35%，耐科装备上涨6.09%，华峰测控，中科飞测等个股跟涨。科创半导体ETF(588170)上涨3.35%，最新价报1.76元。拉长时间看，截至2026年2月2日，科创半导体ETF近1月累计上涨13.22%。

　　流动性方面，科创半导体ETF盘中换手10.2%，成交8.38亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至2月2日，科创半导体ETF近1周日均成交11.38亿元。

　　规模方面，科创半导体ETF近2周规模增长10.89亿元，实现显著增长。（数据来源：Wind）

　　份额方面，科创半导体ETF最新份额达47.17亿份，创成立以来新高。（数据来源：Wind）

　　从资金净流入方面来看，科创半导体ETF近4天获得连续资金净流入，最高单日获得3.43亿元净流入，合计“吸金”6.16亿元，日均净流入达1.54亿元。（数据来源：Wind）

　　跟踪精度方面，截至2026年2月2日，科创半导体ETF近1月跟踪误差为0.007%。

　　科创半导体ETF紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。