近日，晟光硅研半导体科技有限公司（以下简称“晟光硅研”）在水导激光技术产业化方面取得关键进展。该公司总经理杨森在接受《经济参考报》记者专访时介绍，晟光硅研作为中国水导激光技术的先行者，始终结合客户产业化的技术需求，进行水导激光技术设备的国产化自主研发。

　　资料显示，晟光硅研成立于2021年，自2023年全国产化设备定型，累计完成设备销售30余台（套），是中国率先完全实现商用化水导激光技术设备的研发制造企业，为航空先进复材及半导体材料的高精度、低损伤加工提供了优质的解决方案。

　　据杨森介绍，水导激光技术作为一种新型激光制造技术，通过将水和激光耦合加工，利用光的全反射效应，在水射流内精确传导激光，从而实现对材料的精细去除。杨森指出：“与传统激光加工相比，水导激光减少了热影响区，避免了材料微裂纹、熔融残留等问题，适合对热敏感和高可靠性要求的航空发动机相关零部件制造，其技术原理的线性激光延展了精密加工的深径比极限，为设计端提供了更大的优化空间。在半导体领域，该技术能够为客户提供提质增效的优秀解决方案。”

　　为轻量化与高强度材料加工提供新路径

　　随着航空航天装备向轻量化、高性能方向发展，碳纤维复合材料、陶瓷基复合材料等难加工材料的应用日益广泛。

　　杨森表示：“水导激光技术在航空先进复合材料高精度打孔、异形结构加工等方面具有独特优势。例如，在航空发动机涡轮叶片气膜孔、陶瓷基复材、碳纤维复材的精密加工等场景中，该技术可实现无机械应力、无分层，避免热损伤、崩边、毛刺等缺陷的高质量加工，提升结构件寿命及性能。历经三年联合客户深耕材料特性禀赋、细酌工艺参数优化，已经为中航工业整机厂、中国航发典型发动机完成数十款新型零部件的定型，水导激光已成为我国航空先进材料精密制造的新型加工技术。”

　　目前，晟光硅研在航空航天市场开拓领域取得了重要进展，公司研制的水导激光设备顺利通过了整机验证阶段，并成为中国率先正式进入航空整机厂工程实践阶段的水导激光产品。

　　构建跨行业工艺开发新生态

　　为推动水导激光技术在多行业的规模化应用，晟光硅研已建成涵盖光学设计、流体控制、运动系统及智能工艺软件的全链条研发体系，并推出多款具有自主知识产权的水导激光加工设备。公司专利体系布局完善，在审核及已授权专利120余项。

　　“我们不仅提供标准化设备，更注重与客户共同开发定制化工艺解决方案。”杨森表示。该公司与西安电子科技大学、西安交通大学、西北工业大学共建产学研合作平台，聚焦行业共性难题，开发并积累了一系列针对400多种不同硬脆材料与结构的成熟加工工艺数据库。

　　作为高新技术企业及省级专精特新企业，该公司已在水导激光光束质量控制、自适应加工系统、大行程五轴、六轴航空专用龙门设备装配等领域布局多项核心专利。公司通过研究激光与物质作用的微观成形机制，开展光学设计研究，攻克了光水耦合等核心技术，完成水导激光技术设备整机研发、样机试制、定型及小批量生产，为航空航天、半导体、精密医疗器械等硬脆材料加工领域提供全新的技术解决方案。

　　以创新工艺赋能高端制造自主可控

　　“水导激光不仅是一项加工技术，更是未来精密制造产业链的重要革新。”杨森表示，“晟光硅研将继续深化该技术在半导体、航空航天等我国重要战略产业的应用，推动国产高端装备与工艺的自主化研发进程，助力中国制造向高精度、高可靠性方向迈进。”

　　杨森表示，未来，公司计划进一步扩大产能，加强国际合作，致力于成为全球水导激光技术研发与产业化的重要推动者，为全球高端制造业提供中国创新的工艺解决方案。