截至2025年12月25日 13:33，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)上涨0.06%，成分股华兴源创(688001)上涨8.81%，华峰测控(688200)上涨4.20%，欧莱新材(688530)上涨2.68%，金宏气体(688106)上涨1.92%，盛美上海(688082)上涨1.10%。科创半导体ETF(588170)上涨0.06%， 冲击4连涨。最新价报1.54元。拉长时间看，截至2025年12月24日，科创半导体ETF近1周累计上涨4.12%，涨幅排名可比基金1/3。

　　流动性方面，科创半导体ETF盘中换手10.59%，成交3.82亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至12月24日，科创半导体ETF近1周日均成交5.34亿元，排名可比基金第一。

　　规模方面，科创半导体ETF近2周规模增长2.95亿元，实现显著增长。（数据来源：Wind）

　　份额方面，科创半导体ETF近2周份额增长800.00万份，实现显著增长。（数据来源：Wind）

　　数据显示，杠杆资金持续布局中。科创半导体ETF本月以来融资净买额达320.65万元，最新融资余额达1.06亿元。（数据来源：Wind）

　　截至12月24日，科创半导体ETF近6月净值上涨52.85%，指数股票型基金排名388/4019，居于前9.65%。从收益能力看，截至2025年12月24日，科创半导体ETF自成立以来，最高单月回报为23.48%，最长连涨月数为4个月，最长连涨涨幅为58.76%，上涨月份平均收益率为12.51%，月盈利概率为62.42%，历史持有6个月盈利概率为100.00%。截至2025年12月24日，科创半导体ETF近6个月超越基准年化收益为0.46%。

　　回撤方面，截至2025年12月24日，科创半导体ETF成立以来相对基准回撤0.21%。

　　费率方面，科创半导体ETF管理费率为0.50%，托管费率为0.10%。

　　跟踪精度方面，截至2025年12月24日，科创半导体ETF近3月跟踪误差为0.012%。

　　科创半导体ETF紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

　　数据显示，截至2025年11月28日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技(688072)、中微公司(688012)、华海清科(688120)、沪硅产业(688126)、中科飞测(688361)、安集科技(688019)、芯源微(688037)、天岳先进(688234)、盛美上海(688082)、华峰测控(688200)，前十大权重股合计占比74.68%。

　　科创半导体ETF(588170)，场外联接(华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接A：024417；华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接C：024418)。