截至2025年10月20日 10点31分，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨1.74%，成分股耐科装备上涨3.44%，中巨芯上涨3.40%，拓荆科技上涨2.83%，晶升股份，华海诚科等个股跟涨。科创半导体ETF（588170）上涨1.61%，最新价报1.39元。

　　流动性方面，科创半导体ETF盘中换手7%，成交2.54亿元。拉长时间看，截至10月17日，科创半导体ETF近1周日均成交8.43亿元，领先同类。

　　华泰证券指出，全球半导体行业规模有望从2024年的6310亿美元增长至2030年的1万亿美元以上（CAGR约8%），其中AI/HPC将成为核心驱动力，占比预计从2025年的35%提升至2030年的48%。SEMI预测2026年全球WFE资本开支同比增长10%，较2025年的6%加速，反映AI驱动下先进工艺逻辑和存储资本开支的强劲增长。半导体设备行业2026年或迎来拐点，先进封装设备规模预计达63亿美元。

　　相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF （588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备 （61%）和半导体材料（23%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

　　半导体材料ETF （562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（61%）、半导体材料（21%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。