新华财经上海5月17日电上海凯世通半导体股份有限公司16日宣布，凯世通国产低能大束流离子注入机12英寸晶圆产品片过货量突破500万片。经过五年技术攻坚，凯世通实现了国产低能大束流离子注入机从样机研发、产线验证再到规模量产的跨越式发展，以关键核心技术自主创新打破国际企业垄断并实现规模化替代，目前已支撑10余条国内主流12英寸集成电路产线安全量产，覆盖先进逻辑、先进存储、接触式图像传感器（CIS）以及功率芯片四大核心领域，为我国芯片制造自主可控奠定基础。
离子注入机是芯片制造三大关键装备之一，开发难度仅次于光刻机，其中低能大束流离子注入机的市场规模最大、产业化难度极高，一直以来被国际半导体设备企业垄断。自2020年开始向国内头部12英寸产线交付首台设备以来，凯世通坚持自主研发、原创设计，实现关键部件国产化，攻克了电性能关键工艺及28纳米工艺全覆盖，并取得先进制程产业化突破。
先导科技集团董事长、万业企业董事长兼总裁、凯世通董事长朱世会表示，过货量突破500万片极具战略价值，体现了凯世通持续服务客户安全生产的能力。凯世通将继续紧密围绕客户需求，聚焦“硬卡替”环节，加快离子注入机核心技术攻坚，持续提升设备性能，不断满足国内集成电路客户量产需求。
“过货量突破500万片大关这一里程碑既是对凯世通自主研发能力和机台产品力的实证，更是公司系统性能力跃升的集中体现。”凯世通总经理陈克禄博士表示，凯世通五年来在技术研发、现场服务、生产能力、供应链体系、质量管控等全方位能力体系建设上取得显著进步。从一年几千片到每月50万片，再到如今过货量突破500万片，凯世通使国产离子注入机从图纸走向产线，从“可用”迈向“好用”。
凯世通副总经理、首席技术官夏世伟表示，500万片是凯世通在国内头部12英寸的集成电路逻辑、存储大生产线上实现的真正产品生产，标志着凯世通从研发阶段迈入安全稳定、可靠量产的国产化之路。凯世通也将继续以核心科技筑牢中国集成电路产业发展之基。
