截至5月16日11:25，中证半导体材料设备主题指数上涨0.18%，成分股中科飞测上涨1.75%，江丰电子上涨1.43%，耐科装备上涨1.27%，中晶科技上涨1.15%，安集科技上涨0.94%。半导体材料ETF（562590）上涨0.09%，最新价报1.07元。拉长时间看，截至5月15日，半导体材料ETF今年以来累计上涨1.23%。

　　份额方面，半导体材料ETF最新份额达2.98亿份，创近1月新高。

　　从资金净流入方面来看，半导体材料ETF近5天获得连续资金净流入，最高单日获得542.63万元净流入，合计“吸金”1518.57万元，日均净流入达到303.71万元。

　　中泰证券认为，国产化大背景下，整体设备公司2025Q1季末合同负债环比增长，预示未来成长动力。2025Q1季末，中微公司、拓荆科技、芯源微等合同负债较2024Q4季末环比增长分别为19%、26%、22%，显现设备公司在手订单及2025Q1新签订单的增长，其背后是国产晶圆厂积极导入国产设备带来下单量的增加。北方华创主要受客户下单季节性影响，2024Q3季末合同负债环比下降13%。长川科技、华峰测控合同负债环比大幅上涨。长川科技2025Q1季末合同负债环比增长76%，华峰测控2025Q1季末合同负债环比增长44%，显现2025Q1签单动能进一步增强；金海通2025Q1季末合同负债环比下降87%，系公司订单到收入转化周期较短，2025Q1客户下单节奏影响公司当季确收及合同负债。

　　半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A：020356；C：020357）聚焦半导体设备、材料，合计权重在指数中占比超75%，全部都是直接受益于自主可控的重要设备与材料厂商，像北方华创这样的A股半导体“盈利王”也位列其中。自去年下半年高点以来，指数整体处于震荡回调状态，仍有向上修复空间。截至5月13日，数据显示，中证半导体材料设备指数市净率为4.17倍，比上市以来73%的时间都要便宜。