“电子特气是集成电路产业链中的重要原材料,推动这一产业高质量发展已成当务之急。”全国人大代表、中船集团有限公司学科带头人、中船集团第七一八研究所科技委主任郭建增近日就今年全国两会其关注的话题,接受上海证券报记者采访。
郭建增长期关注特种气体行业的发展。他告诉记者,当前全球集成电路产业正处于技术迭代、市场格局重塑的关键阶段。我国作为核心参与者,正加速追赶国际领先水平,但还存在较大差距。电子特气被誉为“电子行业的血液”,是集成电路产业链中的重要原材料,占制造材料市场的约13%,主要应用于离子注入、蚀刻清洗、薄膜沉积等关键工艺,直接影响技术指标和良率,制约芯片性能与可靠性。因此,电子特气产业的协调高质量发展深刻影响着集成电路产业链的自主安全。
在郭建增看来,当前我国电子特气行业在企业规模、资金、研发、人才、产品结构、海外布局和管理等方面,与国际水平相比仍有较大差距:一是企业同质化竞争问题严重,经营产品同质化导致恶性价格竞争,严重损害行业利益。以三氟化氮为例,全球需求为4万吨,而国内产能累计已超8万吨。二是关键技术存在差距。从电子特气所需的六大类关键技术维度来看,我国整体处于跟随状态,特别是在先进材料方面,与美国、日本、韩国存在一定的差距。三是产业税收支持政策有待精准覆盖。电子特气技术壁垒较高、需求量较小、产业化程度弱,税收优惠政策未能精准识别,影响了产品在国际市场的竞争力。
郭建增认为,有关方面应进一步加大对电子特气产业的扶持力度。在具体措施方面,可加强国内电子特气产业规划,统筹全国产能布局,通过龙头企业的带动作用,整合优化行业资源配置,促使行业健康发展。同时,加强产业窗口指导,统一规范电子特气行业的安全、环保等行政审批等级,确保危化行业受控,保障社会稳定。
“还可以通过支持企业自主创新、产学研合作、投资并购、技术引进等方式拓宽技术来源,进一步加大特气行业的研发投入。”郭建增表示,相关企业和机构在加强电子特气机理研究、攻克关键技术难题的同时,可融入未来工艺、优化现有工艺和拓展新工艺。
此外,郭建增还建议国家关税委员会为电子特气产品大类单列税则号,为六氟化钨等电子特气产品出口提供出口退税、补贴或税收减免等更加优惠的关税政策。