光刻机核心概念股按产业链环节分类如下

一、整机及核心关联

- 张江高科(600895)：上海微电子重要股东，深度绑定国内唯一光刻机整机研发平台。

- 芯碁微装(688630)：直写光刻设备龙头，覆盖泛半导体等多领域。

- 苏大维格(300331)：光刻机整机及核心部件双布局，定位光栅尺部件供应。

二、光源系统

- 福晶科技(002222)：全球非线性光学晶体龙头，为光刻机光源提供核心材料。

- 炬光科技(688167)：激光光源核心技术，产品用于光刻机光学光束转换。

三、光学系统

- 茂莱光学(688502)：为光刻机供应透镜、棱镜等精密光学元件，精度达纳米级。

- 波长光电(301421)：DUV光刻镜头量产龙头，110nm分辨率物镜稳定用于上海微电子产线。

- 赛微电子(300456)：为ASML供应透镜系统，同时布局国产光刻设备配套。

四、精密机械与结构件

- 富创精密(688409)：半导体设备精密零部件龙头，进入ASML供应链。

- 新莱应材(300260)：高纯应用材料领先，产品满足光刻机超高真空、超洁净要求。

- 中瓷电子(003031)：光刻机精密陶瓷零部件龙头，良率超90%。

五、关键环境与控制

- 同飞股份(300990)：光刻机激光器温控设备国产供应商，保障光源稳定。

- 美埃科技(688376)：高端洁净室供应商，为光刻机提供超净环境支撑。

六、光刻胶及配套材料

- 南大光电(300346)：ArF光刻胶通过认证，国产替代核心标的。

- 安集科技(688019)：CMP抛光液龙头，光刻胶配套材料国产化先锋。

- 晶瑞电材(300655)：光刻胶及配套试剂布局，加速高端产品研发。

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