晶片的诞生离不开晶体生长设备。传统的直拉法在制备单晶硅时容易受到热对流干扰,导致
晶片的诞生离不开晶体生长设备。传统的直拉法在制备单晶硅时容易受到热对流干扰,导致晶体含氧量偏高、均匀性欠佳;而将高温超导技术应用于磁控直拉单晶生长的这一突破,使得硅片的含氧量得以稳定控制在5ppma以下,目前已经成功拉制出直径达340毫米的高品质硅棒。
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