公告日期：2026-01-05

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
（沈阳市浑南新区新源街 1 号）

关于

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
公开发行股票并在北交所上市
申请文件的第二轮审核问询函的回复

保荐机构（主承销商）

（二〇二五年十二月）

北京证券交易所：

贵所于 2025 年 11 月 21 日出具的《关于中国科学院沈阳科学仪器股份有限
公司公开发行股票并在北交所上市申请文件的第二轮审核问询函》（以下简称“审核问询函”）已收悉。中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称“中科仪”、“发行人”、“公司”）与招商证券股份有限公司（以下简称“招商证券”、“保荐机构”）、北京市中伦律师事务所（以下简称“发行人律师”）、容诚会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“申报会计师”）等相关方对审核问询函所列问题进行了逐项核查，现回复如下，请予以审核。

说明：

1、如无特别说明，本回复使用的简称与《中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司招股说明书（申报稿）》中的释义相同。

2、本审核问询函回复中的字体代表以下含义：

审核问询函所列问题 黑体（不加粗）

对审核问询函所列问题的回复 宋体

对招股说明书的补充披露、修改 楷体（加粗）

引用原招股说明书内容 楷体（不加粗）

3、本回复中若出现总计数尾数与所列数值总和尾数不符的情况，均为四舍五入所致。

目录

目录...... 2
问题 1、市场竞争变动情况...... 3
问题 2、业绩增长可持续性及收入核查充分性...... 17
问题 3、关于备用泵与产品销售的关系...... 70
问题 4、其他问题...... 90
其他...... 127
问题 1、市场竞争变动情况

根据申请文件及问询回复：（1）发行人主要竞争对手 Edwards 在全球市场具有显著的市场份额，公开信息显示该公司具有中国境内的生产能力。（2）发行人竞争对手 Ebara、Kashiyama 均能提供集成电路领域的真空设备。（3）发行人产品在运行寿命、故障率等产品可靠性、稳定性指标仍与国际领先企业存在小幅差距，在先进制程领域的工艺技术积累上，与国际领先企业尚存在差距。（4）在科研用 PVD 薄膜沉积设备领域，发行人产品在膜厚均匀性、磁控靶等性能指标方面与 KJLC 基本持平，但在真空指标方面与 KJLC 产品存在一定差距。

请发行人：（1）说明发行人竞争对手技术及产品迭代的具体情形、主要周期及对发行人的影响，发行人的应对措施及其有效性。（2）对比发行人与主要竞争对手的产品系列情况，说明发行人是否存在缺少对标产品线的情形及对应的产品应用领域、市场份额。（3）说明发行人下游集成电路领域客户选取干泵供应商的主要依据，确定供应商供应份额的主要依据，说明与行业竞争对手相比发行人产品的核心竞争力如何体现。（4）说明发行人与主要竞争对手在集成电路领域的竞争策略；涉及招投标安排的，说明发行人维持客户合作稳定性的具体措施。（5）结合发行人与客户合同签订形式、内容，发票出具形式等，说明发行人“不存在通过备用泵向客户免费提供或赠送产品”的依据是否充分，发行人是否存在向客户零对价提供干泵的情形，说明该类业务模式是否符合行业惯例，会计处理是否符合《企业会计准则》规定。

请保荐机构核查上述事项并发表明确意见，请申报会计师核查问题（5）并发表明确意见。

【回复】

一、发行人说明

（一）说明发行人竞争对手技术及产品迭代的具体情形、主要周期及对发行人的影响，发行人的应对措施及其有效性。

1、干式真空泵板块

（1）主要竞争对手技术及产品迭代情况

司产品对标。

发行人于 2012 年开始向市场推出 JGH、JGM 系列干式真空泵，并于 2016
年通过中芯国际测试验证开始大批量应用，主要对标当时国内市场主流的
Edwards 公司 IH、IGX 系列产品。IH 系列产品大约于 2005 年左右起批量应用于
国内集成电路产线，型号主要包括 IH80、IH160、IH600、IH1000、IH1800 等，各型号面向的工艺环节较为通用。大约 2012 年左右，Edwards 公司开始向我国市场推出新一代 IX 系列产品，这期间向市场导入的主要是面向苛刻工艺的 IXH产品，较之上一代，新一代 IXH 产品更加突出在苛刻工艺中提升制程的可靠性，更强的抗粉尘与抗特气腐蚀能力，更低能耗，以及更小的占……
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