湾芯展开始了，新凯来搭了双层展台，外层贴着“干式DUV原型机首次公开演示'，内层
湾芯展开始了，新凯来搭了双层展台，外层贴着“干式DUV原型机首次公开演示'，内层拉帘封闭，只给预约客户看现场工作人员嘴里反复出现两个词:SAOP、5nm。SAOP就是“自对准四重成像”，用现有DUV光刻机硬啃5nm的秘籍。新凯来把整套方案塞进自家“干式DUV"里，号称2026年小批量交付，国产化率从眼下的20%拉到50%，直接对标ASML1980Di。
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