首台国产高精度Stepper光刻机出厂交付情况根据2025年9月22日的最新资讯
首台国产高精度Stepper光刻机出厂交付情况根据2025年9月22日的最新资讯，中国科汇华晟研制的首台国产Stepper光刻机已正式出厂交付。该光刻机基于“步进投影”技术，采用逐步曝光方式在硅片上形成图案，曝光精度可达几十纳米甚至更小，适用于28纳米左右的成熟芯片制程，广泛应用于工业和汽车设备领域。
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