公告日期：2026-02-05

证券代码：688785 证券简称：恒运昌
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

投资者关系活动记录表

编号：2026-001

☑特定对象调研 □分析师会议

□媒体采访 □业绩说明会

投资者关系活动 □新闻发布会 □路演活动

类别 □现场参观

□其他 （请文字说明其他活动内容）

博时基金、宝盈基金、摩根士丹利基金、易方达基金、Point72、大家
参与机构名称 资产、嘉实基金、华西基金、盘京投资、兴业基金、国联基金、大成基
金、中信证券、东吴证券、华金证券、开源证券

时间 2026年2月4日

地点 深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋

董事、战略发展总监 刘涛

公司接待人员 董事会秘书 庄丽华

姓名 投资者关系专员 郝一骏

证券事务专员 程懿萌

1. 问题：公司2025年度的营业收入情况是怎样的？

投资者关系活动 回答：公司招股书已披露2025年度业绩预计；公司2025年度的营业
收入情况以公司最终披露的2025年年报及审计报告为准。

主要内容介绍

2. 问题：公司与下游客户的合作进展如何？

回答：拓荆科技于2018年与公司开展等离子体射频电源系统的国产化
开发及验证工作，历经2年多的合作验证，公司产品于2020年下半年
开始逐步批量交付拓荆科技。公司与拓荆科技合作范围不断扩展至
PEALD 设备、HDPCVD 设备及先进封装的键合设备领域，相关设备目
前均在持续推进等离子体射频电源系统的合作验证工作。此外，公司
产品已实现批量交付中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等半
导体设备商。公司正在为中微公司、微导纳米、北方华创、盛美上海
的多种机型开发多款等离子体射频电源及匹配器。2025年上半年，公
司还实现对屹唐股份、思锐智能和无锡邑文等细分领域头部客户的销
售收入突破。公司还为国内多家晶圆厂开发多款原位替换等离子体射
频电源及匹配器，客户结构持续多元化。

3. 问题：公司目前的产品结构与产品技术水平是怎样的？

回答：公司主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵，自研产品具体包括
等离子体射频电源系统（等离子体射频电源及匹配器）、等离子体激
发装置（远程等离子体源、射频离子源）、等离子体直流电源、配件
（滤波器、阻抗调整器等），引进产品主要包括真空获得和流体控制
分别所需的真空泵、质量流量计等核心零部件，同时还为晶圆厂提供
等离子体射频电源系统原位替换及维修等技术服务。公司已构建了完
善的技术体系，从测量、控制到架构形成了 3 大基石技术及 8 大产
品化支撑技术，涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调
频、脉冲控制等等离子……
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