公告日期：2025-04-24

国泰海通证券股份有限公司

关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司

使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的核查意见
国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐人”）作为合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”、“公司”或“发行人”）首次公开发行股票并在科创板上市以及 2022 年度向特定对象发行股票的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》（以下简称“《规范运作》”）《上海证券交易所科创板股票上市规则》等有关法律法规和规范性文件的要求，就芯碁微装使用暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理的事项进行了审慎核查，并发表如下核查意见:

一、募集资金基本情况

经中国证券监督管理委员会《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可〔2023〕563 号）核准，公司向特定对象发行人民币普通股（A 股）10,497,245 股，每股发行价格为人民币 75.99 元，募集资金总额为人民币 79,768.56 万元，扣除各项发行费用后实际募集资金净额为人民币 78,936.29 万元。上述募集资金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊
普通合伙）验证，并于 2023 年 7 月 26 日由其出具容诚验字[2023]230Z0198 号《验
资报告》。

上述募集资金已全部存放于募集资金专户管理，公司及相关子公司与存放募集资金的商业银行、保荐人签订了募集资金监管协议。

二、募集资金投资项目的基本情况

截至 2024 年 12 月 31 日，公司 2022 年度向特定对象发行 A 股股票的募集
资金投资项目基本情况如下：

募集资金来源 项目名称 募集资金计划 2024 年投入 截至报告期末累计
投资总额 金额 投入募集资金总额

直写光刻设备产业应 25,765.73 9,411.80 11,604.91
用深化拓展项目

向特定对象发行 IC 载板、类载板直写 17,583.75 7,031.29 7,468.83
光刻设备产业化项目

股票 关键子系统、核心零部

件自主研发项目 15,172.00 4,339.34 8,304.89

补充流动资金项目 20,414.81 9,410.34 10,442.77

合计 78,936.29 30,192.77 37,821.40

由于募投项目建设需要一定的周期，根据募投项目建设进度，现阶段募集资 金在短期内存在部分闲置的情况。在不影响募投项目建设和公司正常经营的前提 下，公司将合理利用闲置募集资金进行现金管理，提高募集资金使用效率，保障 股东利益。

三、本次使用暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理的基本情况

（一）投资目的

由于募集资金投资项目建设需要一定周期，公司的部分募集资金存在暂时闲 置的情形。为提高募集资金使用效率，合理利用部分暂时闲置募集资金及自有资 金，在确保不影响募集资金投资项目建设和募集资金安全的情况下，增加公司的 收益并为公司、股东获取更多回报。

（二）额度及期限

公司拟使用最高不超过人民币 40,000 万元（含本数）的闲置募集资金进行
现金管理，拟使用最高不超过人民币 30,000 万元（含本数）的自有资金进行现 金管理，使用期限自股东大会审议通过之日起不超过 12 个月。在前述额度及期 限范围内，资金可以循环滚动使用。

（三）投资产品品种

1、募集资金

公司将按照相关规定严格控制风险，拟使用暂时闲置募集资金用于购买安全 性高、流动性好、具有合法经营资格的金融机构销售的保本型理财产品（包括但
不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等）。

2、自有资金

公司将按照相关规定严格控制风险，拟使用部分自有资金用于购买安全性高、流动……
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