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- 产业链供货类：茂莱光学（688502）供应DUV光学透镜，适配光刻机物镜组；苏大维格（300331）提供定位光栅产品，可替代德国同类产品；富创精密（688409）的腔体、匀气盘等精密零部件已适配7纳米制程设备；炬光科技（688167）供应光刻机曝光系统核心元器件光场匀化器。
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