公告日期：2026-01-22

证券简称：路维光电 证券代码：688401
转债简称：路维转债 转债代码：118056
深圳市路维光电股份有限公司

（深圳市前海深港合作区南山街道梦海大道 5035 号前海华润金融中心

T5 写字楼 801）

关于本次募集资金投向属于科技创新领域的说明
二〇二六年一月

深圳市路维光电股份有限公司根据《上市公司证券发行注册管理办法》（以下简称“《注册管理办法》”）以及《上海证券交易所上市公司证券发行上市审核规则》等相关规定，对公司本次向特定对象发行股票（以下简称“本次发行”）是否属于科技创新领域进行了客观、审慎评估，制定了《深圳市路维光电股份有限公司关于本次募集资金投向属于科技创新领域的说明》（以下简称“本说明”）。
如无特别说明，本说明相关用语具有与《深圳市路维光电股份有限公司 2026年度向特定对象发行 A 股股票预案》中相同的含义。具体内容如下：

一、公司的主营业务

公司自成立至今，一直致力于掩膜版的研发、生产和销售，产品主要用于平板显示、半导体等行业。掩膜版的作用是将设计者的电路图形通过曝光的方式转移到下游行业的基板或晶圆上，从而实现批量化生产。作为光刻复制图形的基准和蓝本，掩膜版是连接工业设计和工艺制造的关键，相当于胶卷和底片，其精度和质量会直接影响下游制品的优品率。

经过多年技术积累和自主创新，公司具备G2.5-G11全世代掩膜版产品生产能力，可配套平板显示厂商所有世代产线；实现了150nm制程节点半导体掩膜版量产，130nm制程节点半导体掩膜版已通过客户验证并小批量量产，同时公司已掌握的半导体掩膜版制造技术可以覆盖第三代半导体相关产品，产品已全面应用于IC制造、IC器件、先进封装等领域，满足先进半导体芯片封装、半导体器件、MEMS传感器、射频芯片、硅基OLED等产品应用的需求，为我国半导体行业的发展提供关键的上游材料国产化配套支持。

公司作为国内首家、世界第四家拥有G11掩膜版制造技术的厂商，成功突破超高世代掩膜版制造技术、高世代高精度半色调掩膜版制造技术和光阻涂布技术，打破国外厂商在上述产品和技术领域的长期垄断，对于推动平板显示行业关键材料国产化进程、逐步实现进口替代具有重要意义。公司构建了“以屏带芯、双轮驱动”的经营系统，具有研发和技术优势、客户资源优势、较丰富的行业经验和纵向拓展能力，获评国家级专精特新小巨人、中国新型显示行业产业链突出贡献奖、发展贡献奖等荣誉。

二、本次募集资金使用计划

本次向特定对象发行股票募集资金总额不超过人民币 138,000.00 万元（含本
数），扣除发行费用后，用于以下项目的投资：

单位：万元

序号 募集资金投资项目 计划投资总额 拟使用募集资金

1 厦门路维光电高世代高精度掩膜版生产基 130,089.17 107,000.00
地项目（一期）

2 补充流动资金及偿还银行借款 31,000.00 31,000.00
合计 161,089.17 138,000.00

如本次发行实际募集资金（扣除发行费用后）少于拟投入本次募集资金总额，公司董事会将根据募集资金用途的重要性和紧迫性安排募集资金的具体使用，不足部分将通过自有资金或自筹资金解决。

在本次向特定对象发行股票募集资金到位之前，公司将根据募集资金投资项目（以下简称“募投项目”）实施进度的实际情况通过自有资金或自筹资金先行投入，并在募集资金到位后按照相关法律、法规规定的程序予以置换。

（一）厦门路维光电高世代高精度掩膜版生产基地项目（一期）

1、项目概况

掩膜版是微电子制造过程中的图形转移母版，是平板显示、半导体等行业生产制造过程中关键材料。

本募集资金投资项目为“厦门路维光电高世代高精度掩膜版生产基地项目（一期）”，建设单位和实施主体是厦门路维光电有限公司，主要建设内容为新建 5 条高精度平板显示掩膜版生……
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