中科飞测集成电路量检测设备上海张江研发中心及生产基地项目5月13日启动。据介绍，中科飞测将投资超10亿元在上海浦东张江成立第二总部，打造超13万平方米的研发与产业化基地，重点开展高端量检测设备的研发及产业化，努力补齐国产高端半导体质量控制设备的短板。

　　中科飞测举办的集成电路量检测设备合作伙伴大会也同期举行，旨在携手产业链生态伙伴共同推进半导体量检测设备的国产化进程，通过深化国产供应链协同创新，加速攻克核心设备技术瓶颈，补齐国产半导体量检测设备的短板。

　　据悉，中科飞测将以张江总部建设为契机，联合国内产业链生态伙伴，重点开展面向高端量检测设备的研发及产业化，持续推进现有系列设备升级迭代，同时加速补齐更多量检测设备类型，进一步提高产品的覆盖广度和深度，引领国产半导体质量控制设备行业实现从“追赶”到“并跑”的跨越式发展。