查询公司近期发明申请:一种超高纯度贵金属化合物的电化学合成方法。超高纯度贵金属氯
查询公司近期发明申请:一种超高纯度贵金属化合物的电化学合成方法。超高纯度贵金属氯化物(如氯金酸、氯铂酸、氯化钯、三氯化钌、三氯化铑等)是现代高科技产业不可或缺的关键基础原料。广泛应用于半导体工业:作为化学气相沉积(CVD)和原子层沉积(ALD)的前驱体,用于制备贵金属薄膜电极、阻挡层等等。属于先进且具有产业化价值的创新技术,突破传统工艺瓶颈,兼具技术先进性与工业化可行性。
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