公告日期：2025-04-18

证券代码：688268 证券简称：华特气体
广东华特气体股份有限公司

投资者关系活动记录表

编号：2025-002

投资者关系活 ☑特定对象调研 □分析师会议

动类别 □媒体采访 □业绩说明会

新闻发布会 □路演活动

□现场参观

□其他

参与单位名称 天风证券、长城基金、华福证券
及人员姓名

时间 2025 年 4 月 17 日-2025 年 4 月 18 日

地点 公司会议室、线上电话会

上市公司接待 董事会秘书：万灵芝
人员姓名

一、公司的基本情况介绍及最近主要变化。

广东华特气体股份有限公司（以下简称“华特气体”或
“公司”），成立于 1999 年，于 2019 年 12 月在上交所科
创板上市，股票代码：688268。华特气体是一家专注于特种
气体国产化，聚焦主营业务发展的公司；长期以来，公司坚
投资者关系活 持自主可控、创新发展，是率先打破极大规模集成电路、新 动主要内容介 型显示面板、高端装备制造、新能源等尖端领域气体材料进
绍 口制约的气体厂商。

公司主营业务以特种气体的研发、生产及销售为核心，
辅以普通工业气体和相关气体设备与工程业务，提供气体一
站式综合应用解决方案。公司的特种气体主要面向集成电
路、显示面板、光伏新能源、光纤光缆等新兴产业。随着信
息化、智能化技术的快速发展，半导体芯片及器件产品在半
导体照明、新一代移动通信、智能电网、新能源汽车、智能驾驶、数据中心、消费类电子等领域得到广泛应用。公司的电子特种气体产品在电子领域实现了包括高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、光刻气、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯氨、高纯一氧化氮、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、锗烷、高纯乙烯、高纯甲烷、高纯六氟丁二烯等众多产品的进口替代。公司自主研发的氟碳类、光刻稀混气类、氢化物、氮氧化合物等产品主要应用在芯片制程工艺中的刻蚀、清洗、光刻、外延、沉积/成膜、离子注入等环节。

公司掌握了特种气体从生产、存储、检测到应用服务全流程涉及的关键技术，包括气体合成、纯化、混配、气瓶处理、分析检测以及供气系统的设计、安装、日常维护等环节。公司精益求精，在原有核心技术基础上不断深入研究，持续提升各节点技术水平，追求更高的纯度、更低的杂质含量、更稳定的质量、更高的检测精度。公司经过多年行业沉淀在高端市场领域形成了突破，积累了中芯国际、华润微电子、长江存储、韩国三星、新加坡美光、UMC、台积电等众多优质客户，尤其在集成电路领域，对国内 8-12 寸芯片厂商的覆盖率处于行业领先地位。公司有超过 20 个产品已经批量供应
14 纳米先进工艺，超过 13 个产品供应到 7 纳米先进工艺，
2 个产品进入到 5 纳米先进工艺。第三代功率器件半导体方面，公司产品满足碳化硅（SiC）与氮化镓（GaN）等生产需求。公司也已进入到全国最大的氮化镓厂和碳化硅厂供应链。

在气体分析检测领域，公司在业内首创准分子激光气中微量氟的检测关键技术，解决了重组分、百分比浓度含氟量等行业检测难题。公司自主研发有 Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne、Kr/F/Ne 和 Ar/Ne/Xe 等多款光刻混合气，公司是国内唯一一家同时通过荷兰 ASML 公司和日本 GIGAPHOTON 株式会社认证
的气体公司，并且多款光刻气在半导体厂得到广泛应用。
经过三十多年的发展，公司的技术积累日益深厚。截至报告期末，公司累计取得 243 项专利，其中 37 项发明专利、203 项实用新型专利及 3 项外观设计专利。公司主持或参与制定包括多项电子工业用气体国家标准在内的 62 项标准，6项行业标准，1 项国际标准和 11 项团体标准。公司承担了国家重大科技专项（02 专项）中的《高纯三氟甲烷的……
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