华为已申请碳化硅光波导关键工艺专利CN114815143A，该专利聚焦于碳化硅光
$天岳先进(SH688234)$ 华为已申请碳化硅光波导关键工艺专利 CN114815143A，该专利聚焦于碳化硅光波导结构设计及刻蚀工艺优化，涉及光栅周期误差控制（10nm）、热稳定性提升（通过85℃高温/240小时测试）等核心技术，为碳化硅波导的量产工艺提供了技术支撑 。
大家觉得会用的谁的衬底？
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