2、据2025年4月26日年度报告，公司是国内首家将量产型High-k原子层沉积
$微导纳米(SH688147)$ 2、据2025年4月26日年度报告，公司是国内首家将量产型High-k原子层沉积设备ALD应用于集成电路前道产线的国产厂商，产品覆盖逻辑、存储、先进封装、化合物半导体等细分领域。
3、据2025年8月29日半年度报告，公司推进可转债募投项目“半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目”，扩大半导体设备生产规模，解决产能瓶颈。
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