据2022年年报：存储芯片DRAM、3DNAND、新型存储器结构对ALD技术的需
$微导纳米(SH688147)$ 据2022年年报：存储芯片 DRAM、3DNAND、新型存储器结构对 ALD 技术的需求越来越大。公司批量型 ALD 设备也已获得客户订单，且为行业首台批量型 ALD 设备在存储芯片制造领域的应用。
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