ALD设备具有精确度高台阶覆盖率高适合先进制程存储领域有更大市场，存储所需的AL
ALD设备具有精确度高
台阶覆盖率高
适合先进制程
存储领域有更大市场 ，存储所需的ALD数量
为逻辑的4-5 倍，14nm以下逻辑芯片和
200层以上存储 所需的ALD设备大增。
微导纳米是首家将
量产ALD用于28nm
前道生产线的国产设备 实现ALD设备0到1突破，微导纳米在逻辑和
存储市场开拓顺利， 23年半导体订单是
去年同期的3.29倍，超过75%的增量
订单来自存储市场。
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