平台化布局扎实稳步推进
从收入来看,华海清科CMP装备收入在保持较快增速的同时,减薄装备、湿法装备等逐步贡献收入,晶圆再生及耗材维保收入实现大比例增长;从订单来看,CMP装备订单持续保持增长,减薄装备、湿法装备、晶圆再生及耗材维保等订单放量明显,划切及边抛装备也取得多家客户订单,公司平台化布局扎实稳步推进。
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