公告日期：2025-10-30

国泰海通证券股份有限公司

关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司

使用募集资金置换预先投入募投项目

及已支付发行费用的自筹资金的核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐机构”）作为盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”、“公司”或“发行人”）首次公开发行股票并在科创板上市以及2024年度向特定对象发行股票的持续督导保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定，对公司使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的事项进行了核查，具体情况如下：

一、募集资金基本情况

根据中国证券监督管理委员会核发的《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2025]1338号），公司于2025年9月26日向特定对象发行A股38,601,326股（以下简称“本次发行”），每股的发行价为人民币116.11元，募集资金总额为人民币4,481,999,961.86元，扣除各项发行费用人民币46,984,264.81元（不含增值税），实际募集资金净额为人民币4,435,015,697.05元。上述募集资金到位情况已经立信会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具信会师报字[2025]第ZI10808号《验资报告》予以确认。

为规范公司及子公司募集资金的管理、存放和使用，切实保护投资者权益，公司及子公司盛帷半导体设备（上海）有限公司开设了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的各商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董

二、募集资金投资项目情况

根据《盛美半导体设备（上海）股份有限公司2024年度向特定对象发行A股

股票募集说明书》以及《关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的公告》

的相关内容，本次发行募集资金扣除各项发行费用后，将用于投入以下项目：

单位：万元

序号 募投项目名称 拟投资总额 调整前拟使用募 调整后拟使用募

集资金投资金额 集资金投资金额

1 研发和工艺测试平台 94,034.85 92,234.85 92,234.85

建设项目

2 高端半导体设备迭代 225,547.08 225,547.08 220,848.65

研发项目

3 补充流动资金 130,418.07 130,418.07 130,418.07

合计 450,000.00 448,200.00 443,501.57

三、自筹资金预先投入募投项目及已支付发行费用情况

（一）自筹资金预先投入募投项目情况

为保障募投项目的顺利推进，公司在募集资金到位前，根据募投项目的实际

进展情况使用自筹资金对募投项目进行了预先投入。截至2025年9月26日，公司

以自筹资金预先投入募投项目的实际投资金额为人民币119,519,103.72元，拟使

用募集资金人民币119,519,103.72元置换预先投入募投项目费用，具体情况如下：

调整前拟使 调整后拟使用 截至 2025 年 9 月

序号 募投项目名称 拟投资总额 用募集资金 募集资金投资 26 日自筹资金已预 拟置换金额
（万元） 投……
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