公告日期：2025-05-20

证券代码：688082 证券简称：盛美上海

盛美半导体设备（上海）股份有限公司

投资者关系活动记录表

编号：2025-02

投资者关系 □特定对象调研 □分析师会议

活动类别 □媒体采访 √业绩说明会

□新闻发布会 □路演活动

□现场参观 □其他

会议时间 2025 年 5 月 15 日

会议地点 电话会议

上市公司 董事长：HUI WANG

接待人员姓名 总经理：王坚

财务负责人：LISA YI LU FENG

董事会秘书：罗明珠

公司领导对2025年第一季度业绩和财务情况进行了简
单介绍，并就投资者关心的问题进行了回答。

问答环节

1、请问公司目前三维堆叠电镀设备方面的进展如何？

答：公司目前三维堆叠电镀设备为主要应用于填充 3D硅通孔TSV
投资者关系活动 的 Ultra ECP 3d 和 2.5D 转接板的 Ultra ECP ap。基于盛美半
主要内容介绍 导体电镀设备的平台，该设备可为高深宽比（深宽比大于 10:1）
铜应用提供高性能、无孔洞的镀铜功能。该设备为提高产能而设
计了堆叠式腔体，能减少消耗品的使用，降低成本，节省设备使
用面积。上述设备整体销量良好。目前，TSV 工艺方面，上下游
设备及相关耗材已全部实现国产化，公司的设备能够满足中国客
户的需求，已在中国大陆大部分客户端获得商业验证并取得重复
订单。
2、可以介绍下公司今年新签订单及业绩情况吗？
答：公司于今年 1 月份披露了 2025 年度经营业绩预测公告，预
计 2025 年全年营业收入将在人民币 65.00 亿元至 71.00 亿元之
间。今年一季度，公司实现了强劲增长，核心产品持续获得市场认可，产能布局有序推进。预计第二、第三季度的交货强劲，第四季度我们还有一些 open slot，按照惯例公司将在每年 9 月底披露在手订单情况。未来，公司将继续以差异化技术创新为驱动，以全球化布局为支撑，坚定推进长期发展战略，努力为客户、股东和社会持续创造价值。
3、请问公司高温硫酸清洗设备的差异化优势是什么？
答：公司硫酸清洗设备能较好满足客户各类差异化需求，凭借差异化技术优势，公司在高温（>170°C）硫酸清洗设备及中低温硫酸清洗设备市场具备强劲竞争力，已经在多家客户端完成了大生产线验证。其中，中低温的 Tahoe 清洗设备可减少高达 75%的硫酸消耗量，仅硫酸一项每年就可节省高达数十万美元的成本，帮助客户降低生产成本又能更好符合国家节能减排政策；此外，公司单片高温硫酸清洗设备使用公司自主研发的专利技术，专有喷嘴设计以消除 SPM 工艺中的酸雾飞溅问题，有助于提高颗粒控制能力并减少腔体的清洗维护频率，从而延长设备的正常运行时间，我们期待对 19 纳米及 15 纳米的小颗粒去除具有良好效果。
公司有信心在不断夯实中国市场的基础上，持续将具备差异化竞争优势的硫酸清洗设备推向国际市场。
4、公司年报中披露了两款 ALD 的炉管设备，能否简要介绍一下公司高温炉管的一些进展及后续展望？
答：首先，在高温炉管设备方面，盛美自主研发的 Ultra Fn 立式炉管设备采用公司独有的立式炉管结构设计（专利申请中），
具备最高 1250°C 的处理能力，并能有效保持晶圆表面的平整度。据我们了解，目前业内尚无其他厂商能够在立式炉管设备中实现这一温度水平和工艺稳定性。这一工艺能力的突破，也体现了公司在高温热处理设备方面长期投入所形成的深厚技术积累与差异化优势。目前这款设……
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