公告日期：2026-02-28

证券代码：688037 证券简称：芯源微 公告编号：2026-004
沈阳芯源微电子设备股份有限公司

2025 年度业绩快报公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

本公告所载 2025 年度主要财务数据为初步核算数据，未经会计师事务所审计，具体数据以沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“公司”）2025年年度报告中披露的数据为准，提请投资者注意投资风险。

一、2025 年度主要财务数据和指标

单位：万元

增减变动幅度
项目 本报告期 上年同期

（％）

营业总收入 194,848.83 175,360.60 11.11

营业利润 6,383.14 22,178.35 -71.22

利润总额 6,440.96 22,506.25 -71.38

归属于母公司所有者的净利润 7,169.35 20,281.20 -64.65

归属于母公司所有者的扣除非

经常性损益的净利润 -1,809.75 7,330.66 -124.69

基本每股收益（元） 0.36 1.01 -64.36

加权平均净资产收益率 2.62% 8.10% 减少 5.48 个
百分点

增减变动幅度
本报告期末 本报告期初

（％）

总 资 产 644,320.35 559,687.32 15.12

归属于母公司的所有者权益 279,266.31 269,112.74 3.77

股 本 20,162.73 20,096.70 0.33

归属于母公司所有者的每股净

资产（元） 13.85 13.39 3.44

注：1、本报告期初数同法定披露的上年年末数。

2、以上财务数据依据财务报表数据填列，但未经审计，最终结果以公司 2025 年年度报
告为准。

二、经营业绩和财务状况情况说明

（一）报告期的经营情况、财务状况及影响经营业绩的主要因素

报告期内，公司实现营业总收入 194,848.83 万元，同比增长 11.11%；实现
利润总额 6,440.96 万元，同比下降 71.38%；实现归属于母公司所有者的净利润7,169.35 万元，同比下降 64.65%；实现归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润-1,809.75 万元，同比下降 124.69%。

报告期末，公司总资产 644,320.35 万元，同比增长 15.12%；归属于母公司
的所有者权益 279,266.31 万元，同比增长 3.77%。

报告期内，公司前道晶圆加工领域产品收入保持增长，其中，前道涂胶显影领域持续开展机台导入与高端工艺验证，前道清洗领域物理清洗机继续保持国内龙头地位，高产能物理清洗机通过存储客户验证并获得重复订单，公司战略新产品前道化学清洗机客户端导入顺利且签单收入均实现较快增长。

报告期内，公司后道先进封装及小尺寸领域……
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