证券日报网讯 1月14日，芯源微在互动平台回答投资者提问时表示，公司前道化学清洗设备机台搭载独立开发的新一代高清洗效率低损伤射流喷嘴，具有高工艺覆盖性、高稳定性、高洁净度、高产能等多项核心优势；前道物理清洗设备配置低损伤雾化清洗喷嘴与低损伤清洗毛刷，可广泛应用于国内前道晶圆制造领域；后道单片湿法设备包括清洗机、去胶机、刻蚀机等湿法类设备，可广泛应用于来料清洗、TSV深孔清洗、Flux清洗等清洗、去胶及lift-off剥离工艺及多种介质层湿法刻蚀工艺。未来公司将持续提高清洗设备产能，研究开发化学清洗关键技术，进一步优化单元和整机设计。