公告日期：2025-09-22

证券代码：688037 证券简称：芯源微
沈阳芯源微电子设备股份有限公司投资者关系活动记录表
编号：2025-05

特定对象调研 分析师会议

投资者关系活动 媒体采访 业绩说明会

类别 新闻发布会 路演活动

现场参观 其他

工银瑞信基金管理有限公司

华商基金管理有限公司

开源证券股份有限公司

惠升基金管理有限责任公司

中信建投证券股份有限公司

宝盈基金管理有限公司

参与单位名称 国新投资有限公司

广发证券资产管理（广东）有限公司

长江证券股份有限公司

中汇人寿保险股份有限公司

中信保诚人寿保险有限公司

中信证券资产管理有限公司

上海盘京投资管理中心（有限合伙）

中信建投基金管理有限公司

时间 2025年9月15日-2025年9月19日

地点 公司会议室

上市公司接待人

执行委员会委员、副总裁、董事会秘书 刘书杰先生

员姓名

公司领导带领来访对象参观了公司展厅、净化间等，并对公
司基本情况进行了详细讲解，后在公司会议室与来访对象进
投资者关系活动 行了座谈。
主要内容介绍

Q1：公司 2025 年上半年整体签单情况及全年签单展望？

A1：2025 年上半年公司整体签单与去年同期基本持平。其中，

比较亮眼的是战略新产品前道化学清洗机，上半年签单形势
良好，同比增幅较大；前道涂胶显影机签单相对比较稳定，
新一代机型还在研发中；后道先进封装领域继续维持弱复苏
趋势，上半年签单相对比较稳定。全年签单按照公司计划稳
定推进，具体经营数据请以公司后续公告为准。

Q2：前道化学清洗机产品进展如何，2025 年下半年推进预
期？

A2：公司战略性新产品前道化学清洗机签单表现优秀，高温
SPM 机台已通过国内领先客户工艺验证，成功打破国外垄断，
获得国内客户高度认可。目前公司化学清洗机已获得国内多
家大客户订单及验证性订单，部分客户在前期验证基础上，
也已陆续下发重复批量性订单。2025 年上半年签单情况很好，
对全年完成签单目标有信心。2025 年下半年公司将继续推进
化学清洗机在国内各大主要客户的导入和验证。

Q3：公司新一代前道涂胶显影机目前的研发进展及客户导入
情况？

A3：公司新一代前道涂胶显影机目前研发及客户导入整体较
顺利，预计将在今年第四季度发机到客户端验证，明年有望
看到新一代机型在客户端的表现。

Q4：公司未来的发展规划？

A4：公司产品已覆盖前道晶圆加工、后道先进封装、化合物
半导体等多个领域，未来将继续围绕前道涂胶显影、前道单
片清洗、后道先进封装三大主赛道，坚持以客户为中心，坚
持研发服务于市场主基调，不断提升公司核心竞争力及行业
……
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